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基礎(chǔ)信息Product information

產(chǎn)品名稱:TH512國產(chǎn)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

產(chǎn)品型號:

更新時間:2025-11-05

產(chǎn)品簡介:

TH512國產(chǎn)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀應(yīng)用
半導(dǎo)體元件/功率元件: 二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光電子芯片等寄生電容測試、C-V特性分析
半導(dǎo)體材料:晶圓切割、C-V特性分析
液晶材料:彈性常數(shù)分析
電容元件:電容器C-V特性測試及分析,電容式傳感器測試分析

產(chǎn)品特性Product characteristics

“精"——上海市先JIN企業(yè)!

“專"——專注工業(yè)測試十六年!

“特"——德國萊茵TUV認(rèn)證供應(yīng)商!

“新"——注冊資本實繳壹仟萬元!實繳資金行業(yè)中居前茅!抗金融風(fēng)險能力強(qiáng)!


TH512國產(chǎn)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀應(yīng)用

半導(dǎo)體元件/功率元件: 二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光電子芯片等寄生電容測試、C-V特性分析

半導(dǎo)體材料:晶圓切割、C-V特性分析

液晶材料:彈性常數(shù)分析

電容元件:電容器C-V特性測試及分析,電容式傳感器測試分析


性能特點

 柵極電壓VGS:0 - ±40V

 漏極電壓VDS:0 - ±3000V

 四寄生參數(shù)(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)同屏一鍵測量及顯示

 一體化設(shè)計:LCR+VGS低壓源+VDS高壓源+通道切換+上位機(jī)軟件

 單管器件(點測)、模組器件(列表掃描)、曲線掃描(選件)三種測試方式

 標(biāo)配2通道,可擴(kuò)展至6通道,可測單管、多芯或模組器件(TH513僅1通道)

 CV曲線掃描、Ciss-Rg曲線掃描

 電容快速充電技術(shù),實現(xiàn)快速測試

 接觸檢查Cont

 通斷測試OP_SH

 自動延時設(shè)置

 Crss Plus功能:解決高頻下Crss負(fù)值問題

 高壓擊穿保護(hù):DS瞬間短路,保護(hù)儀器

 Interlock安全鎖功能:增加高壓防護(hù)墻(僅TH513)

 Cs-V功能:二極管結(jié)電容CV特性測試分析

 等效模式轉(zhuǎn)換功能,可選Cs或Cp模式

 10檔分選

簡要參數(shù)

TH511

TH512

TH513

通道

2(可擴(kuò)展至6

2(可擴(kuò)展至6

1

測試頻率

1kHz-2MHz

測試參數(shù)

CissCoss、CrssRg

VGS范圍

0   - ±40V

VDS范圍

0   - ±200V

0   - ±1500V

0   - ±3000V

簡介

TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀是常州同惠電子根據(jù)當(dāng)前半導(dǎo)體功率器件發(fā)展趨勢,針對半導(dǎo)體材料及功率器件設(shè)計的分析儀器。

儀器采用了一體化集成設(shè)計,二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導(dǎo)體功率器件寄生電容、CV特性可一鍵測試,無需頻繁切換接線及設(shè)置參數(shù),單管功率器件及模組功率器件均可一鍵快速測試,適用于生產(chǎn)線快速測試、自動化集成。

CV曲線掃描分析能力亦能滿足實驗室對半導(dǎo)體材料及功率器件的研發(fā)及分析(此功能為選件)。

儀器設(shè)計頻率為1kHz-2MHz,Vgs電壓可達(dá)±40V,VDS電壓可達(dá)±200V/±1500V/±3000V,足以滿足大多數(shù)功率器件測試。


功能特點

A.一體化測試,集成度高、體積小、效率高

    一臺儀器內(nèi)置了LCR數(shù)字電橋、VGS電壓源、VDS電壓源、高低壓切換矩陣以及上位機(jī)軟件,將復(fù)雜的接線、繁瑣的操作集成在支持電容式觸摸的Linux系統(tǒng)內(nèi),操作更簡單。特別適合產(chǎn)線快速化、自動化測試。


B.單管器件測試,10.1寸大屏,四種寄生參數(shù)同屏顯示,讓細(xì)節(jié)一覽無遺

    MOSFET或IGBT最重要的四個寄生參數(shù):Ciss、Coss、Crss、Rg,Cies、Coes、Cres、Rg均可一鍵測試,10.1寸大屏可同時將測量結(jié)果、等效電路圖、分選結(jié)果等重要參數(shù)同時顯示,一目了然。

    一鍵測試單管器件器件時,無需頻繁切換測試腳位、測量參數(shù)、測量結(jié)果,大大提高了測試效率。

TH512國產(chǎn)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀


C.列表測試,多個、多芯、模組器件測量參數(shù)同屏顯示

    TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持最多6個單管器件、6芯器件或6模組器件測試,所有測量參數(shù)通過列表掃描模式同時顯示測試結(jié)果及判斷結(jié)果。

TH512國產(chǎn)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

D.曲線掃描功能(選件)

    在MOSFET的參數(shù)中,CV特性曲線也是一個非常重要的指標(biāo),如下圖

    TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀支持C-V特性曲線分析,可以以對數(shù)、線性兩種方式實現(xiàn)曲線掃描,可同時顯示多條曲線:同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線;同一Vg、不同參數(shù)多條曲線。

    TH510系列同時支持多種曲線掃描模型

    曲線支持散點標(biāo)記及粗細(xì)調(diào)節(jié)

    Ciss-Rg曲線掃描

TH512國產(chǎn)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

E.Cs-V功能,二極管結(jié)電容CV特性測試分析

     得益于TH510系列功率器件CV特性分析儀內(nèi)置了2路直流電源,使二極管的CV特性分析成為可能,Cs-V功能可用于測試各種二極管的結(jié)電容,并可分析二極管的CV特性。

TH512國產(chǎn)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

F.等效模式轉(zhuǎn)換

    TH510系列功率器件CV特性分析儀測試結(jié)果的電容C均為串聯(lián)模式Cs,對于部分需求測試并聯(lián)模式Cp需求的客戶,可自行切換

TH512國產(chǎn)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

G. 多種獨特技術(shù),解決自動化配套測試痛點

        在配套自動化設(shè)備或者產(chǎn)線時,經(jīng)常會遇到下列問題,同惠針對多種情況進(jìn)行了優(yōu)化。

        1)獨特技術(shù)解決Ciss、Coss、Crss、Rg產(chǎn)線/自動化系統(tǒng)高速測試精度

同惠電子在電容測試行業(yè)近30年的經(jīng)驗積累,得以在產(chǎn)線、自動化測試等高速高精度測試場合,都能保證電容、電阻等測試精度。

常規(guī)產(chǎn)線測試,提供標(biāo)準(zhǔn)0米測試夾具,直插器件可直接插入進(jìn)行測試,Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度高。                   image.png        

針對自動化測試,由于自動化設(shè)備測試工裝通常需要較長連接線,大多自動化設(shè)備生產(chǎn)商在延長測試線時會帶來很大的精度偏差,為此,同惠設(shè)計了獨特的2米延長線并內(nèi)置了2米校準(zhǔn),保證Ciss、Coss、Crss、Rg測試精度和0米測試夾具一致。

        2)接觸檢查(Contact)功能,提前排除自動化測試隱患

在高速測試特別是自動化測試中,經(jīng)常會由于快速插拔或閉合,造成測試治具或工裝表面磨損、引線斷裂而接觸不良,接觸不良的造成的最直接后果是誤判測試結(jié)果而難以發(fā)現(xiàn),在廢品率突然增加或發(fā)出產(chǎn)品故障原因退回時才會發(fā)現(xiàn),因此是一個極大的隱患。

同惠TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀采用了獨特的硬件測試方法,采用了四端測量法,每個腳位均有兩根線連接,若任意一根線斷裂或者接觸點接觸不良,均可及時發(fā)現(xiàn)并提供接觸不良點提示,儀器自動停止測試,等待進(jìn)一步處理。

保障了結(jié)果的準(zhǔn)確性,同時利于客戶及時發(fā)現(xiàn)問題,避免了不良品率提高及故障品退回等帶來的損失。

TH512國產(chǎn)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀


        3)快速通斷測試(OP_SH),排除損壞器件

在半導(dǎo)體器件特性測試時,由于半器件本身是損壞件,特別是多芯器件其中一個芯已經(jīng)損壞的情況下,測試雜散電容仍有可能被判斷為合格,而半導(dǎo)體器件的導(dǎo)通特性才是最重要的特性。

因此,對于本身導(dǎo)通特性不良的產(chǎn)品進(jìn)行C-V特性測試是沒有必要的,不僅僅浪費(fèi)了測量時間,同時會由于C-V合格而混雜在良品里,導(dǎo)致成品出貨后被退回帶來損失。

TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀提供了快速通斷測試(OP_SH)功能,可用于直接判斷器件本身導(dǎo)通性能。

        4)Crss+Plus功能,解決自動化測試系統(tǒng)高頻下Crss負(fù)值問題      

Crss電容通常在pF級,容量較小,測試是個難題。

而在自動化測試系統(tǒng)中,由于過多的轉(zhuǎn)接開關(guān)、過長測測試引線等帶來的寄生參數(shù)。

因此,測試Crss,特別是在高頻測試時通常會出現(xiàn)負(fù)值,

同惠電子憑借在電容器測試行業(yè)30年的技術(shù)及經(jīng)驗積累,采用獨特的算法的Crss Plus模式,可保證即使是在自動化測試系統(tǒng)中、高頻下也能測的正確的結(jié)果。

        5)漏源高壓擊穿保護(hù)技術(shù),防止損壞測試儀器

在測試功率器件電容時,漏極D通常會加上高壓,特別是第三代功率半導(dǎo)體器件,電壓甚至可高達(dá)1000V-3000V,當(dāng)漏源瞬間擊穿時,常會導(dǎo)致電容器瞬間短路放電,在漏源電壓1500V時,放電電流可高達(dá)780A,如此大的瞬間電流,會反沖至儀器內(nèi)部電路,并導(dǎo)致?lián)p壞。

同惠高壓擊穿保護(hù)技術(shù),解決了此隱患,避免經(jīng)常由于高壓沖擊損壞儀器,降低了維修成本的同時提高了自動化測試的效率。

        6)Interlock互鎖功能,確保高壓下操作環(huán)境安全(僅TH513)

在測試功率器件需施加高壓,因此對于操作者及其他設(shè)備的安全隔離非常重要,特別是在自動化產(chǎn)線,通常會將高壓設(shè)備放置在一個隔離的環(huán)境,并通過安全門開啟關(guān)閉來保證操作者的安全。

TH510系列功率器件CV特性分析儀配置了Interlock接口,可與安全門開關(guān)連接,在安全門開啟時切斷高壓輸出并禁止儀器啟動,只有關(guān)閉后才能正常工作。確保了操作者和設(shè)備的安全。

        7)模組式器件設(shè)置,支持定制

針對模組式器件如雙路(Dual)MOSFET、多組式IGBT,有些器件會有不同類型芯片混合式封裝,TH510系列CV特性分析儀針對此情況做了優(yōu)化,常見模組式芯片Demo已內(nèi)置,特殊芯片支持定制。

TH512國產(chǎn)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀


        8)10檔分選及可編程HANDLER接口

儀器提供了10檔分選,為客戶產(chǎn)品質(zhì)量分級提供了可能,分選結(jié)果直接輸出至HANDLER接口

在與自動化設(shè)備連接時,怎么配置HANDLER接口輸出,一直是自動化客戶的難題,TH510系列LCR將HANDLER接口腳位、輸入輸出方式、對應(yīng)信號、應(yīng)答方式等可視化,讓自動化連接更簡單。


H.  簡單快捷設(shè)置

單測設(shè)置界面

列表掃描設(shè)置界面

參數(shù)可以任意選擇,可打開及關(guān)閉,關(guān)閉參數(shù)可有效節(jié)約時間和數(shù)據(jù)傳輸;延時時間可自動設(shè)置或自行設(shè)置;柵極電阻可選漏源短路或漏源開路。

CV掃描設(shè)置界面

采用圖形化設(shè)置界面,功能參數(shù)對應(yīng)原理圖設(shè)置一目了然。


I. 支持定制化,智能固件升級方式

同惠儀器對于客戶而言是開放的,儀器所有接口、指令集均為開放設(shè)計,客戶可自行編程集成或進(jìn)行功能定制,定制功能若無硬件更改,可直接通過固件升級方式更新。

儀器本身功能完善、BUG解決、功能升級等,都可以通過升級固件(Firmware)來進(jìn)行更新,而無需返廠進(jìn)行。

固件升級非常智能,可以通過系統(tǒng)設(shè)置界面或者文件管理界面進(jìn)行,智能搜索儀器內(nèi)存、外接優(yōu)盤甚至是局域網(wǎng)內(nèi)升級包,并自動進(jìn)行升級。


J.   半導(dǎo)體元件寄生電容知識

在高頻電路中,半導(dǎo)體器件的寄生電容往往會影響半導(dǎo)體的動態(tài)特性,所以在設(shè)計半導(dǎo)體元件時需要考慮下列因素:

在高頻電路設(shè)計中往往需要考慮二極管結(jié)電容帶來的影響;

MOS管的寄生電容會影響管子的動作時間、驅(qū)動能力和開關(guān)損耗等多方面特性;

寄生電容的電壓依賴性在電路設(shè)計中也是至關(guān)重要,以MOSFET為例

漏源短接,用交流信號測得的柵極和源極之間的電容,Ciss = Cgs   +Cgd

影響延遲時間;Ciss越大,延遲時間越長

Coss

輸出電容

柵源短接,用交流信號測得的漏極和源極之間的電容,Coss = Cds   +Cgd

Crss越大,漏極電流上升特性越差,這不利于MOSFET的損耗。高速驅(qū)動需要低電容。

Crss

反向傳輸電容

源極接地,用交流型號測得的漏極和柵極之間的電容,也稱米勒電容

反向傳輸電容等同于柵漏電容。Crss = Cgd

影響關(guān)斷特性和輕載時的損耗。如果Coss較大,關(guān)斷dv/dt減小,這有利于噪聲。但輕載時的損耗增加。

Rg

柵極輸入電阻

Rg被定義漏源短接,偶爾也被定義為漏極開路


K.   標(biāo)配附件

CV測試夾具TH513-1

USB轉(zhuǎn)RC232通訊線纜TH26071C



TH512國產(chǎn)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀規(guī)格參數(shù)指標(biāo)

產(chǎn)品型號

TH511

TH512

TH513

通道數(shù)

2(可選配4/6通道)

1

顯示

顯示器

10.1英寸(對角線)電容觸摸屏

比例

16:9

分辨率

1280×RGB×800

測量參數(shù)

CISSCOSS、CRSSRg,四參數(shù)任意選擇

測試頻率

范圍

1kHz-2MHz

精度

0.01%

分辨率

10mHz

1.00000kHz-9.99999kHz

100mHz

10.0000kHz-99.9999kHz

1Hz

100.000kHz-999.999kHz

10Hz

1.00000MHz-2.00000MHz

測試電平

電壓范圍

5mVrms-2Vrms

準(zhǔn)確度

±10%×設(shè)定值+2mV

分辨率

1mVrms

0.5Vrms-1Vrms

10mVrms

1Vrms-2Vrms

VGS電壓

范圍

0   -   ±40V

準(zhǔn)確度

1%×設(shè)定電壓+8mV

分辨率

1mV

0V - ±10V

10mV

±10V - ±40V

VDS電壓

范圍

0   -   ±200V

0   -   ±1500V

0   -   ±3000V

準(zhǔn)確度

1%×設(shè)定電壓+100mV

輸出阻抗

100Ω,±2%@1kHz

數(shù)學(xué)運(yùn)算

與標(biāo)稱值的絕對偏差Δ,與標(biāo)稱值的百分比偏差Δ%

校準(zhǔn)功能

開路OPEN、短路SHORT、負(fù)載LOAD、夾具校準(zhǔn)

測量平均

1-255

AD轉(zhuǎn)換時間(ms/次)

快速+2.5ms(5kHz)

快速:11ms,

中速:90ms

慢速:220ms

最高準(zhǔn)確度

0.5%(具體參考說明書)

CISSCOSS、CRSS

0.00001pF     - 9.99999F

Rg

0.001mΩ   - 99.9999MΩ

Δ%

±0.000% -   999.9%

多功能參數(shù)列表掃描

點數(shù)

50點,每個點可設(shè)置平均數(shù),每個點可單獨分選

參數(shù)

測試頻率、VgVd、通道

觸發(fā)模式

順序SEQ:當(dāng)一次觸發(fā)后,在所有掃描點測量,/EOM/INDEX只輸出一次

步進(jìn)STEP:每次觸發(fā)執(zhí)行一個掃描點測量,每點均輸出/EOM/INDEX,但列表掃描比較器結(jié)果只在最后的/EOM才輸出

圖形掃描

掃描點數(shù)

任意點可選,最多1001

結(jié)果顯示

同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線;同一Vg、不同參數(shù)多條曲線

顯示范圍

實時自動、鎖定

坐標(biāo)標(biāo)尺

對數(shù)、線性

掃描參數(shù)

Vg、Vd、Freq

觸發(fā)方式

手動觸發(fā)一次,從起點到終點一次掃描完成,下個觸發(fā)信號啟動新一次掃描

結(jié)果保存

圖形、文件

比較器

Bin分檔

10Bin、PASS、FAIL

Bin偏差設(shè)置

偏差值、百分偏差值、關(guān)

Bin模式

容差

Bin計數(shù)

0-99999

檔判別

每檔最多可設(shè)置四個參數(shù)極限范圍,四個測試參數(shù)結(jié)果設(shè)檔范圍內(nèi)顯示對應(yīng)檔號,超出設(shè)定最大檔號范圍則顯示FAIL,未設(shè)置上下限的測試參數(shù)自動忽略檔判別

PASS/FAIL指示

滿足Bin1-10,前面板PASS燈亮,否則FAIL燈亮

存儲調(diào)用

內(nèi)部

100M非易失存儲器測試設(shè)定文件

外置USB

測試設(shè)定文件、截屏圖形、記錄文件

鍵盤鎖定

可鎖定前面板按鍵,其他功能待擴(kuò)充

接口

USB HOST

2USB HOST接口,可同時接鼠標(biāo)、鍵盤,U盤同時只能使用一個

USB   DEVICE

通用串行總線插座,小型B類(4個接觸位置);與USB   TMC-USB488USB2.0相符合,陰接頭用于連接外部控制器。

LAN

10/100M以太網(wǎng),8引腳,兩種速度選擇

HANDLER

用于Bin分檔信號輸出

RS232C

標(biāo)準(zhǔn)9針,交叉

RS485

標(biāo)準(zhǔn)差分線

GPIB

24D-Sub端口(D-24 類),陰接頭與IEEE488.12SCPI兼容

開機(jī)預(yù)熱時間

60分鐘

輸入電壓

100-120VAC/198-242VAC可選擇,47-63Hz

功耗

不小于130VA

尺寸(WxHxDmm

430x177x405

重量

16kg


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